Symbol

CAS#

64916-48-9

MDL

M.F.

Pd(C5HF6O2)2

M.W.

520.52

Catalog No.

BC-1141

Appearance

黄色至深橙色粉末

Assay

Pd20.44%

Physical Characteristics

M.p.

B.p.

F.p.

Vapor pressure

Density

Solubility

Package

100g/瓶

Applications

用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备

Remark