别名

英文名称

CAS#

64916-48-9

MDL

分子式(M.F.)

Pd(C5HF6O2)2

分子量(M.W.)

520.52

产品编号

BC-1141

性状

黄色至深橙色粉末

纯度/分析方法

Pd20.44%

物化参数

熔点

/

沸点

/

闪点

/

蒸气压

/

密度

/

溶解性

/

规格/包装

100g/瓶

用途

用于氧化还原金属置换反应，以优化铜的化学气相沉积合金化工艺。还用于同时进行铜的蚀刻和钯的沉积，从而应用于超大规模集成设备

备注